Advanced EnergyがAngstrom Era向けに画期的なプラズマ電力制御技術を発表
July 12 2023 - 8:00AM
Business Wire
eVerest™ RF発電機プラズマ電源が2nm未満の半導体ノード用に次世代のパルス生成と高速応答性を発揮
(ビジネスワイヤ) --
高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、�御のソリューションを設計製造する世界的企業、Advanced Energy
Industries, Inc. (Nasdaq:
AEIS)は本日、最新鋭の半導体製造で顧客がスループットと歩留まりを最大化可能な、次世代の繰り返し高精度な安定性を発揮する、次世代のRF電力供給システムを発表しました。
本プレスリリースではマルチメディアを使用しています。リリースの全文はこちらをご覧ください。:https://www.businesswire.com/news/home/20230712887544/ja/
Advanced Energy Launches Transformational
Plasma Power Control Technology for the Angstrom Era (Photo:
Business Wire)
Angstrom Eraのエッチングと蒸着成膜プロセスで要求される高度なプラズマ�御を可能にすべく開発されたeVerest™
RF発電機は詳細に設定可能なマルチレベルの電力パルスを生成し、いかなる既存のプラズマ電力供給システムへも統合し性能を改善できます。このプラットフォームは1~60
MHzの範囲で3~10 kWの出力電力を発揮し、最大100
kHzと広範に高精度のパルス周波数を出力します。さらに、高速セットポイント応答、遷移�態間トランジション時のオーバーシュート�御、高度なIoTデータのエコシステムへのアクセスも提供するため、製造業者は2nm未満のプロセスで、最先端かつ再現性のある蒸着成膜とエッチングを得られます。
Advanced Energyでプラズマ電力製品のシニアバイスプレジデントを務めるJuergen
Braunはこう述べます。「ますます小型化が進むチップで性能を改善する半導体業界の使命に導かれ、当社はAngstrom
Eraと提携しました。同社は、原子スケールで寸法が測定される、複雑化が進む3D構造と画期的なプロセスを扱っています。Advanced
Energyは、40年間以上にわたり、半導体プロセスでのプラズマ電力供給と�御システムの最先端を走り�けています。リーダー的存在として、Angstrom
Eraデバイスの製造業者メーカーから寄せられる要�を満�させるイノベーションを��しており、プロセスと安定動作に余裕を持たせてスループットと歩留まりを最大化する革命的な高精度プラズマ�御を提供します。」
eVerestは、インピーダンスのマッチングソリューションを実現する複数のオプションや、eVoS™バイアスソリューションなどAdvanced
Energyが生み出した他のイノベーションとインテリジェントに同期します。このため、エッチングと蒸着成膜を最適化する遷移トランジションタイミングを瞬時に�御したり、ユー�ー側で設定も可能です。eVerestは200
µs未満の高速RF出力応答を持ち、パルス�態の上昇/降下時間は2
µs未満まで抑えられています。マルチレベルのパルス生成をダイナミックに�御するため、エネルギー生成と配信分配で新たな可能性が開けます。オーバーシュートをプログラミングできるためイグニッションが安定し、パルスオフ�態を長く持たせてプロセス内でプラズマを再準備できます。
Advanced Energy™
IoTデータのエコシステムに属するPowerInsightと統合すれば、eVerestbaseベースのソリューションは高解像度、広帯域で組込みレベルまたはシステムレベルのデータを管理者へ提供できます。このデータは実施可能なインサイトを提供するため、プロセスの特性付けと問題解決をより素早く、より正確に行えるようになります。また、オシロスコープを設置するためにプラズマチャンバーへアクセスする必要がなくなるため、休止時間も減らすことができます。
詳細な製品情報と技術仕様については、当社ウェブサイトをご覧ください。
Advanced Energyについて
Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq:
AEIS)は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスに使用される、高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、�御のソリューションを設計製造する、世界的企業です。Advanced
Energyの電源ソリューションを使用して、顧客は半導体製造設備、産業工業用製造設備、医療とライフサイエンス、データセンターのコンピューティング、ネットワークと通信など、多種多様な産業における複雑なアプリケーションで、イノベーションを実現できます。専門技術のノウハウを蓄積して、世界中で素早くサービスとサポートを顧客へ供給する体�を整え、当社は顧客との協力的な関係を�持して技術革新を果たし、顧客の成長を支援して、電源の未来へ向けイノベーションを生み出します。Advanced
Energyは世界中の顧客へ40年にわたり、最高の電源ソリューションを提供することに取り組んでおり、本社は米国コロラド州のデンバーに所在します。
その他の情報は、www.advancedenergy.comをご覧ください。
Advanced Energy | Precision. Power. Performance. Trust.
businesswire.comでソースバージョンを見る:https://www.businesswire.com/news/home/20230712887544/ja/
プレスリリースに関する問い合わせ: Simon Flatt Grand Bridges所属、Advanced Energy
Industries, Inc.担当 aei@grandbridges.com +1 415 800 4529
Advanced Energy Industries (NASDAQ:AEIS)
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